测量仪/测量传感器

分光干涉位移型多层膜厚测量仪 SI-T 系列

产品型号：SI-T1000
产品概述：
实现多层膜厚, 采用近红外光・没有危害, 实时在线检测,一秒1000次的采样频率,为当今膜厚测量仪的提供新的可能性。

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详细介绍

控制器

型号			SI-T1000V	SI-TA100
类型			主控制器一体型	扩展控制器^*4
独立型			SI-T1000/SI-TD500	SI-TA100
可连接的光谱单元数			2 台	1 台
显示	最小显示单位		0.001 µm	无
	显示范围		±999.999 μm到 ±9999.99 mm（可选 7 种设定）
	显示频率		10 次/ 秒
端子台	激光远程联锁输入		无电压输入^*1	无^*1
	计时 1 输入		无电压输入2^*1
	复位 1 输入		无电压输入^*1
	自动归零 1 输入
	激光控制输入
	模拟输出电压		±10V ×2 输出, 输出阻抗100Ω^*1	±10V ×1 输出, 输出阻抗100Ω^*1
	模拟电流输出		4 到20mA ×2 输出, 最大负载阻抗 350Ω^*1	4 到20mA ×1 输出 , 最大负载阻抗 350Ω^*1
	报警输出		NPN 开集极输出（N.C.）^*1	无^*1
	一般比较器输出		NPN 开集极输出^*1
扩展连接器	计时输入		无电压输入2^*1
	复位输入		无电压输入^*1
	自动调零输入
	程序切换输入		无电压输入 ×3 输入^*1
	报警输出		NPN 开集极输出（N.C.）^*1
	判定、二进位输出	二进制输出	测量数据输出（21bit） , 可选OUT NPN 开路集电极输出^*1
		选通脉冲输出	NPN 开集极输出^*1
		二进制选择器输出
		二进制选择输入	无电压输入^*1
RS-232C 接口			测量数据输出和控制输入/ 输出 ( 波特率最高可选择 115200 bps)	无
USB 接口			兼容USB2.0 HI-SPEED（兼容USB1.1 Full-SPEED）
Ethernet 接口			100Base–TX/10Base–T
主要功能			测量面设定/ 测量面间计算功能、层数校验功能、光量累计功能、偏转自动补偿功能、12OUT 同时测量功能、计算功能、平均功能、滤波功能、校正功能、测量功能、测量值警报设定功能、容差设定功能、自动调零功能、数据存储功能、光线监控功能、8 程序存储器功能、遮罩功能、设定支持软件连接功能等
额定	电源电压		24VDC±10% 脉动10%（P–P）以下	随主控制器提供
	消耗电流		连接1 个传感头时 0.6A 以下连接6 个传感头时 1.5A 以下
环境抗耐性	环境温度		0 到+50°C^*2	0 到+50°C^*5
	相对湿度		35 到85%RH 无冷凝
	抗震性		10 到55Hz，XYZ 方向上0.5 mm 双倍振幅，各2 小时^*3
重量			约600g	约300g
^1 NPN 开路集电极输出额定输出：最大 50mA（最大 40V），残余电压最大 0.5V 无电压额定输入：启动电压最大 1V，关闭电流最大 0.6mA 本机的各输入/输出电路，部分是内部共用电路。请注意，内部公共端子之间不会因连接线/外部设备间的电位差而产生电位差。 ^2 当连接 2 台或更多扩展控制器时，环境温度为 0 到 40°C。 ^3 当连接 2 台或更多扩展控制器时，抗震性为“10 到 55Hz ，XYZ方向上 0.3 mm 双倍振幅，各2小时”。 ^4 最多可在主控制器上连接 4 个扩展控制器。 ^*5 当连接 2 台或更多扩展控制器时，环境温度为 0 到 40°C。

传感头

型号		SI-T10^*1	SI-T80	SI-TS10^8^1
类型		多层位移测量型传感头	长距离厚度测量型传感头	扫描位移测量型传感头
分光单元		SI-T10U	SI-T80U	SI‐TS10U
测量范围 (折射率n=1)		0.01 到1.0 mm
参考距离		9 mm^*2	80 mm^*2	9.1 mm^*2
测量用光源		红外SLD , 输出1 mW , 1 类激光产品（IEC60825-1）
光束直径		ø30 µm^*3	φ25 μm^*3	φ30 μm^*3
线性度		±0.3 µm^*4	±0.3 µm^*7	±0.3 µm^*4
分辨率		0.01 µm (0.25 µm)^5^6	0.01 µm^*6	0.01 μm（0.25 μm）^5^6
采样周期		1 ms
扫描范围		―		1mm±0.1mm
扫描周期				7.8Hz±0.1Hz
LED显示		目标靠近测量中心：绿光。目标在测量范围内：橙光。目标在测量范围外：橙光闪烁。
环境抗耐性	外壳防护级	IP64
	环境光照	白炽灯、荧光灯:10000 lux 以下
	环境温度	0 到+40°C	0 到+50°C	0 到+40°C
	相对湿度	35 到85%RH（无冷凝）
	抗震性	10 到55Hz，XYZ 方向上1.5 mm 双倍振幅，各2 小时		10 到55Hz，XYZ 方向上0.5 mm 双倍振幅，各2 小时
材料		SUS304		铝
重量		约 70g （含连接线）		约340g （含连接线）
^1 传感头和分光单元已经配套调整完毕。无兼容性。 ^2 表示与传感头正面的距离。会出现最大 ±0.2 mm 的个别差异。 ^3 表示测量范围内的最小光束直径。 ^4 当测量对象是玻璃板表面并将平均测量次数设定为 64 次时获得的值 ^5 不使用峰值间计算时为 0.25 μm。 ^6 当测量对象是位于测量中心厚度为 t=0.1 mm 的玻璃，并将平均测量次数设定为 4096 次时获得的值 ^7 当测量对象是 2 块玻璃板的间隙厚度，并将平均测量次数设定为 64 次时获得的值 ^8 使用扫描位移测量传感头扫描机构所需要的电源电压为24VDC±10% 脉动低于10%（P–P）最大电流消耗低于0.3

专用 PC 软件

型号				SI-H1T^*1
类型				PC软件
支持 OS				Windows 10^2/Windows 7（ SP1 以后）^3/Windows Vista（ SP2 以后）^4/Windows XP（ SP3 以后）^5
CPU				Pentium Ⅲ 1GHz 以上（建议使用1.7GHz 以上）
存储器容量				256MB 以上（建议使用1GB 以上）
硬盘可用空间				1GB 以上
显示器				1024x768 像素、24bit 真彩色以上
PC接口				配置有以下任意一种接口： USB ：Revision2.0 高速（USB1.1 兼容时全速）^6 LAN ：100BASE-TX、10BASE-T^7 RS-232C（串口）
^1 用户使用的OS应在建议运行环境以上版本的环境中使用。 ^2 支持 Home、Pro、Enterprise 的各 Edition。 ^3 支持 Home Premium、Professional、Ultimate 的各 Edition。 ^4 支持 Ultimate、Business、Home Premium、Home Basic 的各 Edition。 ^5 支持 Professional Edition 及 Home Edition。 ^6 经由 USB 集线器的连接，不属于保修对象。 ^*7 与 LAN 之间的连接及经由路由器的连接，不属于保修对象。